Pengembangan pengeluaran karbida silikon mendorong perkembangan pesat peralatan khas
Jul 28,2022
Peranti kuasa karbida silikon mempercepatkan penembusan dalam bidang automotif dan lain -lain, menunjukkan ruang pasaran yang besar dan menarik pelbagai pengeluar untuk meningkatkan pengembangan pengeluaran. Selepas garis 8 inci pertama Wolfspeed dimasukkan ke dalam pengeluaran, Bosch Group, Rohm, Infineon, Toshiba baru-baru ini pengembangan dan pembinaan baru garisan pengeluaran karbida silikon juga telah diumumkan.
Berbanding dengan garis pengeluaran wafer silikon tradisional, proses pembuatan karbida silikon membawa permintaan yang berbeza ke atas peralatan.
Giuseppe Arena, pengarah projek peranti kuasa automotif stmicroelectronics, mengatakan bahawa disebabkan oleh sifat fizikal dan kimia yang unik bahan-bahan lebar lebar, proses pembuatan karbida silikon agak berbeza daripada peranti kuasa berasaskan silikon tradisional dalam pertumbuhan epitaxial, implan ion, dan penyepuh suhu tinggi. Modul seperti ruang khas direka untuk mengawal kecacatan dan meningkatkan produktiviti. Alat khas juga diperlukan dalam etsa, penipisan dan pautan lain.
Memandangkan proses dan peralatan matang, sesetengah syarikat IDM sedang mempertimbangkan untuk mengubah garis pengeluaran silikon wafer 6-inci yang ketinggalan zaman ke dalam barisan pengeluaran karbida silikon. Pakar industri menganggarkan bahawa ia hanya memerlukan 20 juta dolar AS pelaburan untuk menyesuaikan proses dan membeli sedikit peralatan khas. Transformasi garis pengeluaran semacam ini dapat diselesaikan.
Pada masa ini, pembahagian buruh dan pengkhususan telah mula muncul dalam bidang ini, dan syarikat-syarikat seperti X-Fab telah menjejakkan kaki dalam perniagaan Silicon Carbide Foundry.
CLAS-SIC, yang terletak di Scotland, UK, mengendalikan barisan pengeluaran silikon karbida 6-inci. 10-15% daripada barisan pengeluaran adalah peralatan silikon karbida yang berdedikasi, dan kebanyakan peralatan yang tinggal diubahsuai dari garisan pengeluaran wafer silikon. Syarikat itu bertanggungjawab menurut Rae Hyndman, industri silikon karbida juga menghadapi kesesakan penghantaran ketika membeli peralatan terpakai.
Pasaran Silicon Carbide menjanjikan, dan ia juga menarik pengeluar peralatan untuk meningkatkan pelaburan dalam bidang ini. David Haynes, pakar teknikal di Fanlin, mengatakan bahawa cabaran biasa yang dihadapi oleh peralatan yang dibangunkan untuk proses wafer silikon ketika memproses substrat karbida silikon adalah yang terakhir. Hampir telus di kawasan yang kelihatan dan berhampiran inframerah, modul pengesanan perlu dioptimumkan.
Satu lagi peralatan gergasi, bahan yang digunakan, juga telah melancarkan beberapa peralatan karbida silikon khas. Peralatan CMP yang direka untuk sifat fizikal dan kimia khas silikon karbida dikatakan dengan ketara mengurangkan kecacatan permukaan wafer silikon karbida, menurut Sally Ann Henry, pengarah pembangunan perniagaan Shengmei Company. Berkata bahawa pasaran Peralatan Khas Silicon Carbide semasa masih dalam peringkat awal pembangunan, dan kebanyakan IDM masih mengendalikan barisan pengeluaran 6 inci. (alat jambatan) akan sangat menarik. Peralatan sedemikian boleh diperkenalkan dalam barisan pengeluaran 6 inci terlebih dahulu. Kerana ia dilengkapi dengan modul pengesanan yang paling maju, ia dapat dengan cepat menyesuaikan diri dengan barisan pengeluaran 8 inci yang akan datang selepas menggantikan modul perlawanan, memuatkan dan memunggah. Wayar.
Berbanding dengan garis pengeluaran wafer silikon tradisional, proses pembuatan karbida silikon membawa permintaan yang berbeza ke atas peralatan.
Giuseppe Arena, pengarah projek peranti kuasa automotif stmicroelectronics, mengatakan bahawa disebabkan oleh sifat fizikal dan kimia yang unik bahan-bahan lebar lebar, proses pembuatan karbida silikon agak berbeza daripada peranti kuasa berasaskan silikon tradisional dalam pertumbuhan epitaxial, implan ion, dan penyepuh suhu tinggi. Modul seperti ruang khas direka untuk mengawal kecacatan dan meningkatkan produktiviti. Alat khas juga diperlukan dalam etsa, penipisan dan pautan lain.
Memandangkan proses dan peralatan matang, sesetengah syarikat IDM sedang mempertimbangkan untuk mengubah garis pengeluaran silikon wafer 6-inci yang ketinggalan zaman ke dalam barisan pengeluaran karbida silikon. Pakar industri menganggarkan bahawa ia hanya memerlukan 20 juta dolar AS pelaburan untuk menyesuaikan proses dan membeli sedikit peralatan khas. Transformasi garis pengeluaran semacam ini dapat diselesaikan.
Pada masa ini, pembahagian buruh dan pengkhususan telah mula muncul dalam bidang ini, dan syarikat-syarikat seperti X-Fab telah menjejakkan kaki dalam perniagaan Silicon Carbide Foundry.
CLAS-SIC, yang terletak di Scotland, UK, mengendalikan barisan pengeluaran silikon karbida 6-inci. 10-15% daripada barisan pengeluaran adalah peralatan silikon karbida yang berdedikasi, dan kebanyakan peralatan yang tinggal diubahsuai dari garisan pengeluaran wafer silikon. Syarikat itu bertanggungjawab menurut Rae Hyndman, industri silikon karbida juga menghadapi kesesakan penghantaran ketika membeli peralatan terpakai.
Pasaran Silicon Carbide menjanjikan, dan ia juga menarik pengeluar peralatan untuk meningkatkan pelaburan dalam bidang ini. David Haynes, pakar teknikal di Fanlin, mengatakan bahawa cabaran biasa yang dihadapi oleh peralatan yang dibangunkan untuk proses wafer silikon ketika memproses substrat karbida silikon adalah yang terakhir. Hampir telus di kawasan yang kelihatan dan berhampiran inframerah, modul pengesanan perlu dioptimumkan.
Satu lagi peralatan gergasi, bahan yang digunakan, juga telah melancarkan beberapa peralatan karbida silikon khas. Peralatan CMP yang direka untuk sifat fizikal dan kimia khas silikon karbida dikatakan dengan ketara mengurangkan kecacatan permukaan wafer silikon karbida, menurut Sally Ann Henry, pengarah pembangunan perniagaan Shengmei Company. Berkata bahawa pasaran Peralatan Khas Silicon Carbide semasa masih dalam peringkat awal pembangunan, dan kebanyakan IDM masih mengendalikan barisan pengeluaran 6 inci. (alat jambatan) akan sangat menarik. Peralatan sedemikian boleh diperkenalkan dalam barisan pengeluaran 6 inci terlebih dahulu. Kerana ia dilengkapi dengan modul pengesanan yang paling maju, ia dapat dengan cepat menyesuaikan diri dengan barisan pengeluaran 8 inci yang akan datang selepas menggantikan modul perlawanan, memuatkan dan memunggah. Wayar.